产品介绍
设计特点:
A. 无铁芯直线电机直驱
B. 高精度以及精准回零
C. 无尘室盖板
无尘室外壳DGL XY 平台, 采用雅科贝思无尘室盖板标准DGL模组组成。具有良好的刚性性能,以及良好的定位精度。适用于无尘室环境。
规格/3D图纸
模组配置
模组 |
轴 |
电机型号 |
有效行程 |
运动质量 |
总质量 |
传感器限位 |
硬限位 |
(mm) |
(Kg) |
(Kg) |
(mm) |
(mm) |
DGL200 |
上轴 |
AUM4-S2 |
300 |
3.1 |
29 |
304 |
320 |
AUM4-S3 |
300 |
3.4 |
29 |
304 |
320 |
下轴 |
AUM4-S3 |
300 |
24.9 |
103 |
304 |
320 |
AUM4-S4 |
300 |
26.1 |
103 |
304 |
320 |
注:花岗岩的质量大约240Kg.
性能参数
规格参数 |
单位 |
DGCR 300 |
DGCRS 300 |
1直线度 |
μm |
±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm |
±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm |
1平面度 |
±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm |
±3μm/25mm,NTE±10μm/300mm |
重复精度(1μm分辨率) |
±3 (40μm光栅栅距) |
±3 (40μm光栅栅距) |
重复精度(0.5μm分辨率) |
±1.5 (20μm光栅栅距) |
±1.5 (20μm光栅栅距) |
重复精度(0.1μm分辨率) |
±1 (20μm光栅栅距) |
±1 (20μm光栅栅距) |
重复精度(模拟量) |
±5 counts |
±5 counts |
X-Y正交性 |
Arc-sec |
10 |
10 |
注:所有的测量数据基于模组安装在平面度为5μm的花岗岩台面上。
尺寸图
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