产品介绍
设计特点:
A. 无铁芯直线电机直驱
B. 高精度以及精准回零
C. 悬臂式结构
悬臂式DGL XY平台,采用雅科贝思标准模组DGL组成。具有良好的刚性性能,以及良好的定位精度。
规格/3D图纸
模组配置
模组 |
运动轴 |
电机型号 |
有效行程 |
运动总质量 |
总质量 |
传感器限位 |
硬限位 |
(mm) |
(Kg) |
(Kg) |
(mm) |
(mm) |
DGL180 |
上轴 |
AUM3-S2 |
200-300 |
查看表2 |
查看表3 |
行程+4 |
行程+20 |
AUM3-S3 |
AUM3-S4 |
DGL200 |
下轴 |
AUM4-S2 |
200-600 |
A |
B |
行程+4 |
行程+20 |
AUM4-S3 |
AUM4-S4 |
A=表格2(下轴)+表格3+6.12(连接块质量,Kg)
B=A+表格4
轴运动质量
滑架尺寸 |
S2 |
S3 |
S4 |
上轴 |
2 |
2.5 |
2.7 |
下轴 |
2.4 |
3.1 |
3.4 |
上轴的总质量
有效行程/上轴质量(g) |
200 |
300 |
电机线圈尺寸S2 |
17.04 |
20.44 |
电机线圈尺寸S3 |
18.26 |
22.94 |
电机线圈尺寸S4 |
20.74 |
23.24 |
下轴的总质量
有效行程/下轴质量(g) |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
电机线圈尺寸S2 |
16.4 |
19.8 |
22.3 |
25.7 |
29.1 |
电机线圈尺寸S3 |
18.9 |
22.3 |
24.9 |
28.3 |
31.7 |
电机线圈尺寸S4 |
20.1 |
22.6 |
26.1 |
29.5 |
32 |
性能参数
规格参数 |
单位 |
DGL180 |
DGL200 |
1直线度 |
μm |
±3μm/25mm |
±3μm/25mm |
NTE±10μm/300mm |
NTE±10μm/300mm |
1平面度 |
±3μm/25mm |
±3μm/25mm |
NTE±10μm/300mm |
NTE±10μm/300mm |
重复精度(1μm分辨率) |
±3 (40μm光栅栅距) |
±3 (40μm光栅栅距) |
重复精度(0.5μm分辨率) |
±1.5 (20μm光栅栅距) |
±1.5 (20μm光栅栅距) |
重复精度(0.1μm分辨率) |
±1 (20μm光栅栅距) |
±1 (20μm光栅栅距) |
重复精度(模拟量) |
±5 counts |
±5 counts |
X-Y正交性 |
Arc-sec |
10 |
10 |
注:所有的测量数据基于模组安装在平面度为5μm的花岗岩台面上。
1 电机线长度是在下轴滑架安装之后测量所得
尺寸图
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